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（三）項(xiàng)目交付件：

2套高速雙向運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、設(shè)計(jì)資料,、圖紙,、關(guān)鍵技術(shù)研究報(bào)告、測(cè)試報(bào)告,。

（四）其他要求：

刀片,、導(dǎo)軌等關(guān)鍵零部件，以及加工工藝,，需實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化,。項(xiàng)目承擔(dān)單位承諾，本項(xiàng)目驗(yàn)收通過后2年內(nèi),，具備年產(chǎn)≥10套的生產(chǎn)能力,。

（五）項(xiàng)目完成時(shí)間：不晚于2024年6月

（六）擬資助經(jīng)費(fèi)：不超過200萬元

（一）研究?jī)?nèi)容：

開展較好隔振傳遞率,、較高位置穩(wěn)定性的主動(dòng)減振器及其控制技術(shù)研究,。

（二）考核指標(biāo)：

減振器系統(tǒng)三點(diǎn)式布局，總承載2800~3500kg,，單個(gè)減振器最大承載≥1500kg,；單個(gè)減振器長(zhǎng)*寬*高：360mm*250mm*200mm；減振器X/Y/Z三個(gè)方向傳遞率要求：a)<-30dB@2Hz,；b)<-50dB@10Hz,；c)<-80dB@50Hz；負(fù)載位置穩(wěn)定性(3σ)：X/Y/Z三個(gè)方向<15μm@5min,；具有機(jī)械限位功能（浮起狀態(tài)）：水平向<±700μm,、垂向<±700μm；外部前饋信號(hào)通道不小于10路,；提供用于減振器控制固件通訊的遠(yuǎn)程命令接口,，包括減振器狀態(tài)查詢、控制參數(shù)設(shè)置與獲取等功能,；MTTR≤4小時(shí),，MTBF≥7000小時(shí)。

（三）項(xiàng)目交付件：

2套主動(dòng)減振器,、設(shè)計(jì)資料,、圖紙、關(guān)鍵技術(shù)研究報(bào)告,、測(cè)試報(bào)告,。

（四）其他要求：

傳感器,、執(zhí)行器、控制器等關(guān)鍵零部件,，需實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化,。項(xiàng)目承擔(dān)單位承諾，本項(xiàng)目驗(yàn)收通過后2年內(nèi),，具備年產(chǎn)≥10套的生產(chǎn)能力,。

（五）項(xiàng)目完成時(shí)間：不晚于2024年12月

（六）擬資助經(jīng)費(fèi)：不超過300萬元

（一）研究?jī)?nèi)容：

研究對(duì)自由空間光進(jìn)行高頻,、高精度大范圍調(diào)制的相位調(diào)制器,，有效降低激光時(shí)間相干性。

（二）考核指標(biāo)：

長(zhǎng)*寬*高≤25.65mm*25.65mm*31.75mm,；調(diào)制波長(zhǎng)：532nm,；共振頻率：1.75GHz；相位調(diào)制振幅范圍：1.2~7.1rad,；靈敏度0.32~0.39rad/V@532nm,；有效通光孔>1mm*1mm；光束點(diǎn)指向穩(wěn)定性＜0.1mrad/K（晶體溫度變化）,。

（三）項(xiàng)目交付件：

2套相位調(diào)制器,、設(shè)計(jì)資料、圖紙,、關(guān)鍵技術(shù)研究報(bào)告,、測(cè)試報(bào)告。

（四）其他要求：

光電晶體等關(guān)鍵元器件,，需實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化,。項(xiàng)目承擔(dān)單位承諾，本項(xiàng)目驗(yàn)收通過后2年內(nèi),，具備年產(chǎn)≥20套的生產(chǎn)能力,。

（五）項(xiàng)目完成時(shí)間：不晚于2023年12月

（六）擬資助經(jīng)費(fèi)：不超過90萬元

（一）研究?jī)?nèi)容：

開發(fā)一款具有表面耐磨,、冷卻效率高等特點(diǎn)的水冷單元,。