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（二）考核指標(biāo)：

材料為鋁,；形狀為圓形,，直徑310~320mm,；平面度≤10μm,；布爾高度≤50μm,；被測(cè)對(duì)象溫度冷卻到22±0.07℃用時(shí)≤7.3s（輸入的被測(cè)對(duì)象溫度為22±2℃）。

（三）項(xiàng)目交付件：

2套高性能水冷單元,、設(shè)計(jì)資料,、圖紙,、關(guān)鍵技術(shù)研究報(bào)告、熱仿真報(bào)告,、測(cè)試報(bào)告,。

（四）其他要求：

項(xiàng)目承擔(dān)單位承諾，本項(xiàng)目驗(yàn)收通過后2年內(nèi),，具備年產(chǎn)≥20套的生產(chǎn)能力,。

（五）項(xiàng)目完成時(shí)間：不晚于2023年12月

（六）擬資助經(jīng)費(fèi)：不超過60萬元

（一）研究?jī)?nèi)容：

開發(fā)一款加濕器,，用于超高純氣體供給系統(tǒng),，實(shí)現(xiàn)持續(xù)加濕中只傳送水汽、高效率加濕等技術(shù)的研究攻關(guān),。

（二）考核指標(biāo)：

加濕器出口氣體的相對(duì)濕度≥90%@22℃（加濕器進(jìn)口氣體的露點(diǎn)溫度≤-89℃@1atm）,；最大可處理超潔凈干空氣流量≥900NL/min，加濕器可處理超潔凈干空氣的壓力范圍：1~3barg,；加濕用超純水的流量消耗≤2L/min@17~24℃,；加濕器出入口氣體關(guān)鍵污染物濃度如下表。

（三）項(xiàng)目交付件：

2套超潔凈空氣加濕器,、設(shè)計(jì)資料,、圖紙、關(guān)鍵技術(shù)研究報(bào)告,、測(cè)試報(bào)告,。

（四）其他要求：

加濕器設(shè)計(jì)方案如果采用non-porous membrane（非多孔膜），需實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化,。項(xiàng)目承擔(dān)單位承諾,，本項(xiàng)目驗(yàn)收通過后2年內(nèi)，具備年產(chǎn)≥10套的生產(chǎn)能力,。

（五）項(xiàng)目完成時(shí)間：不晚于2023年12月

（六）擬資助經(jīng)費(fèi)：不超過180萬元

（一）研究?jī)?nèi)容：

研究特定鋁合金件內(nèi)部的復(fù)雜水路系統(tǒng)的水路防腐蝕方案，其長(zhǎng)度超過2000mm,，內(nèi)孔徑小,，最大孔深約1200mm。腐蝕介質(zhì)為中性水,，研究變量包含水中溶解氧含量,、Cl^-濃度、Cu²⁺濃度,、電導(dǎo)率，以及水路供水裝置中水面上方CO₂濃度等,。通過實(shí)驗(yàn)研究得出循環(huán)水路環(huán)境中,，各主要水質(zhì)指標(biāo)的控制范圍及其對(duì)水路管道腐蝕的影響,。

（二）考核指標(biāo)：

交付1套針對(duì)特定鋁合金件內(nèi)部復(fù)雜循環(huán)冷卻水流道的完整的水路防腐蝕方案和驗(yàn)證結(jié)果，包含水中溶解氧含量,、Cl^-濃度,、Cu²⁺濃度、電導(dǎo)率,，以及水路供水的空氣環(huán)境中CO₂濃度等的控制范圍及工程控制方法,，實(shí)現(xiàn)腐蝕速率＜0.57mm/y（毫米/年）。

（三）項(xiàng)目交付件：

復(fù)雜鋁合金件內(nèi)部水路保護(hù)技術(shù)方案報(bào)告：

（1）特定鋁合金件內(nèi)部冷卻水路腐蝕及失效的原因分析

（2）基于腐蝕影響的特定鋁合金件內(nèi)部冷卻水路壽命預(yù)測(cè)分析

（3）特定鋁合金件內(nèi)部冷卻水路壽命監(jiān)測(cè)及優(yōu)化方案

（4）滿足特定鋁合金件內(nèi)部冷卻水路壽命要求的工程技術(shù)方案及控制方法,，完整的驗(yàn)證腐蝕速率與工程方案的實(shí)驗(yàn)與自檢方法,，及相關(guān)的全部實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)