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（二）考核指標(biāo)：

材料為鋁；形狀為圓形，直徑310~320mm；平面度≤10μm；布爾高度≤50μm；被測對象溫度冷卻到22±0.07℃用時(shí)≤7.3s（輸入的被測對象溫度為22±2℃）。

（三）項(xiàng)目交付件：

2套高性能水冷單元、設(shè)計(jì)資料、圖紙、關(guān)鍵技術(shù)研究報(bào)告、熱仿真報(bào)告、測試報(bào)告。

（四）其他要求：

項(xiàng)目承擔(dān)單位承諾，本項(xiàng)目驗(yàn)收通過后2年內(nèi)，具備年產(chǎn)≥20套的生產(chǎn)能力。

（五）項(xiàng)目完成時(shí)間：不晚于2023年12月

（六）擬資助經(jīng)費(fèi)：不超過60萬元

（一）研究內(nèi)容：

開發(fā)一款加濕器，用于超高純氣體供給系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)持續(xù)加濕中只傳送水汽、高效率加濕等技術(shù)的研究攻關(guān)。

（二）考核指標(biāo)：

加濕器出口氣體的相對濕度≥90%@22℃（加濕器進(jìn)口氣體的露點(diǎn)溫度≤-89℃@1atm）；最大可處理超潔凈干空氣流量≥900NL/min，加濕器可處理超潔凈干空氣的壓力范圍：1~3barg；加濕用超純水的流量消耗≤2L/min@17~24℃；加濕器出入口氣體關(guān)鍵污染物濃度如下表。

（三）項(xiàng)目交付件：

2套超潔凈空氣加濕器、設(shè)計(jì)資料、圖紙、關(guān)鍵技術(shù)研究報(bào)告、測試報(bào)告。

（四）其他要求：

加濕器設(shè)計(jì)方案如果采用non-porous membrane（非多孔膜），需實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化。項(xiàng)目承擔(dān)單位承諾，本項(xiàng)目驗(yàn)收通過后2年內(nèi)，具備年產(chǎn)≥10套的生產(chǎn)能力。

（五）項(xiàng)目完成時(shí)間：不晚于2023年12月

（六）擬資助經(jīng)費(fèi)：不超過180萬元

（一）研究內(nèi)容：

研究特定鋁合金件內(nèi)部的復(fù)雜水路系統(tǒng)的水路防腐蝕方案，其長度超過2000mm，內(nèi)孔徑小，最大孔深約1200mm。腐蝕介質(zhì)為中性水，研究變量包含水中溶解氧含量、Cl^-濃度、Cu²⁺濃度、電導(dǎo)率，以及水路供水裝置中水面上方CO₂濃度等。通過實(shí)驗(yàn)研究得出循環(huán)水路環(huán)境中，各主要水質(zhì)指標(biāo)的控制范圍及其對水路管道腐蝕的影響。

（二）考核指標(biāo)：

交付1套針對特定鋁合金件內(nèi)部復(fù)雜循環(huán)冷卻水流道的完整的水路防腐蝕方案和驗(yàn)證結(jié)果，包含水中溶解氧含量、Cl^-濃度、Cu²⁺濃度、電導(dǎo)率，以及水路供水的空氣環(huán)境中CO₂濃度等的控制范圍及工程控制方法，實(shí)現(xiàn)腐蝕速率＜0.57mm/y（毫米/年）。

（三）項(xiàng)目交付件：

復(fù)雜鋁合金件內(nèi)部水路保護(hù)技術(shù)方案報(bào)告：

（1）特定鋁合金件內(nèi)部冷卻水路腐蝕及失效的原因分析

（2）基于腐蝕影響的特定鋁合金件內(nèi)部冷卻水路壽命預(yù)測分析

（3）特定鋁合金件內(nèi)部冷卻水路壽命監(jiān)測及優(yōu)化方案

（4）滿足特定鋁合金件內(nèi)部冷卻水路壽命要求的工程技術(shù)方案及控制方法，完整的驗(yàn)證腐蝕速率與工程方案的實(shí)驗(yàn)與自檢方法，及相關(guān)的全部實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)